Atomflo™・350L ロボットとの組合わせでプラスチック部品の表面をスキャン処理している例 (Patents Pending)

 

 

　　シリコンウエハーの処理例　ビデオ (3 MB, WMV形式):

プラズマコーティング

プラズマを使った化学的蒸着（Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition - PECVD) は薄膜を他の材料に形成する方法として広く使われています。これらの薄膜は色々な用途に使われています。２酸化ケイ素や窒化ケイ素の層(レイヤー)はＩＣに必須な化合物です。ＤＬＣ（Diamond-Like Coatings）は金属部品の耐久性や耐腐食性を向上させたり、プラスチックのガスバリヤー性の向上に成果を発揮しています。プラスチックフィルムにガラスをナノレベルでコーティングする事によって酸素や湿気の進入を妨げ、梱包材としての機能を高めることが出来ます。より厚くコートする事によって構造材として使われるプラスチックの耐スクラッチ性能を高めることが出来ます。

アプリケーター（プラズマを噴出すノズル）の中にPECVD用の前躯体供給ユニットを組込む事が可能です。又、その供給ユニットを用いて前躯体の供給量やスピード等を制御する事が出来ます。目的に応じた多様な薄膜材料を使用することが出来ます。例えば、ヘキサメチルジシラザンは酸素プラズマと共にガラスの薄膜を生成し、窒素プラズマとは窒化シリコンを生成します。「Atomflo™」の良い点の一つとして３次元の対象物に対してプラズマを照射出来る事です。又、対象物の大きさや形状に拘りません。

プラズマ・コーティングは、弊社の技術の中核をなすものです。弊社は今迄数々の斬新なプロセスを開発して参りましたそしてお客様の要望される新しいアプリケーションに速やかに対応すべく努力致して参ります。

プラズマ洗浄

「 Atomflo™」による酸素プラズマは酸素原子の流れを発生し、速やかに表面上の有機物の膜を剥します。その反応の副産物は２酸化炭素と水です。有機物の膜は数ミクロン／秒に近い速度で剥離されます。そして驚く程表面が均一に仕上がります。

「大気圧プラズマ洗浄と水によるリンス」の組合せは強酸や強アルカリを使う洗浄方法に比べ有害な排水を発生させない究極の洗浄方法です。

ウイルスやバクテリアも有機物質であり、酸素プラズマを照射することによって速やかに除害されます。この事から「 Atomflo™」は殺菌や細菌による汚染対策に使われるものと期待されます。

　　　　　　　　　光ファイバー表面の処理例

プラズマエッチング

アルゴンガス、３%の４フッ化炭素（ＣＦ４）と１％の酸素の混合ガスを大気圧プラズマ装置「Atomflo™」にフィードすることにより、金属、ガラス及び半導体層をエッチングするが可能です。この混合気体からは高濃度のフッ素原子が発生し、２００－３００℃の範囲で、数ミクロン／分の速度でタングステン、タンタル、シリコン及び幾種類もの多くの薄膜をエッチングします。このテーマに関する学術文献資料（英文）は「ニュース・文献」のページをご覧下さい。