Atomflo™ 大気圧プラズマ製品

「Atomflo™ 」製品カタログをメールなどでご請求下さい。

「Atomflo™ 」プラズマシステムは強力なプラズマをサンプルに照射しほんの数秒で表面処理を行います。 より大きな面積にはロボットを使いスキャンすることにより短時間で表面処理が完了します。プラズマの温度は室温に近い為、熱によるダメージを与える心配はありません。「Atomflo」と真空プラズマを比較してみると、真空プラズマ装置では(1)真空チャンバーの中にサンプルを仕込む(2)系内を減圧する(3)プラズマ処理(4)系内を大気圧に戻す(5)サンプルを取出す必要がありますが、「Atomflo™」であれば、即、プラズマ処理することが可能です。時間とコストの大幅な削減が期待出来ます。

「Atomflo™ 」大気圧プラズマシステムのデモの動画を見るには「multimedia」のページをクリックして下さい。又、表面処理やプラズマ処理に関してどうぞお気軽にご相談下さい。

Atomflo™ 100T シリーズ

「Atomflo™ 100Tシリーズ」は筒型(チューブラー型)のプラズマ発生装置です。いわゆるチューブ(管)、ワイヤー、繊維や医療器具であるステントなどの製造工程にこの装置を組込み「インライン表面処理」が可能となりました。この装置の筒の中を通過することによって処理材料の外側部分がプラズマ表面処理されて表面エネルギーが活性化され且つ表面が洗浄されます。この処理によって、接着性、印字性、被膜性や塗装性が向上します。
低温プラズマであるので、高分子ポリマー、金属そして複合材料などの多くの異なった材料の処理が可能となっています。そして処理スピードが速く効率的に処理が可能です。更にピンポイント処理が可能なようにカスタマイズも可能です。
光学センサーを取付ける事によってプラズマを検知し、システムにフィードバックすることによって安定した処理品質が維持出来ます。現行ではガス源はヘリウムガスと酸素ガスを使用します。操作は簡単で安心してご使用戴けます。

Atomflo™ 200 シリーズ

「Atomflo™ 200 シリーズ」のアプリケーター(プラズマの照射ノズル)はハンドヘルド又はロボットに組付けて使用します。有効径は25 mmです。下記の写真にあるように「Atomflo™ 200 シリーズ」のコントローラーは可変のRF(高周波)電源(0 - 220 W)、自動マッチングネットワークとマスフローコントローラーから出来ています。このアプリケーターはシンプルな形をしており、且つ頑丈に出来ていますので安全にご使用戴けます。そして簡単に取扱える為どの様な形状や大きさであっても処理可能です。

Atomflo™・コントローラー (Patents Pending)

Atomflo™ 225C

「Atomflo 225C」には「AH-250C」（円柱型　プラズマアプリケーター）が付属しています。下図をご参照下さい。表面活性を上げ接着剤を使った接着、洗浄及び有機フィルムのエッチングなど色々な材料処理に良く使用されています。此処ではヘリウムガス又はアルゴンガスと酸素が使われます。ガスボンベをコントローラーに繋ぎ、ラインをパージし電源を入れて下さい。ご承知の通り、アプリケーターからは酸素原子と少量のオゾンが発生します。例えば、フードの中で操作をするなどして換気の良い状態でご使用下さい。

AH-250C ハンドヘルド・プラズマ・アプリケーター (Patents Pending)

Atomflo™ 225D

「Atomflo™ 225D」は大気圧下でPECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition)に使われます。どの様な大きさや形のものでもこの装置で処理することが可能です。「AH-250D」の写真を下図に示します。このプラズマコーティングに必要な要素を含む揮発性のプレカーサー（前躯体）はガスとは別のラインでアプリケーターに供給されます。プレカーサーとプラズマガスは混ざり合い、反応し、薄膜を形成します。例えば、４－エトキシシランは酸素プラズマと結合し、ガラスを堆積して引掻き強度を向上させたり、防蝕性を高めたり、湿気に対するバリア性を高めます。弊社はお客様のご要望にお答えすべく最適なプラズマコーティング装置を設計・開発致します。又、プレカーサーを正確に制御して供給するシステムもご提供致しております。　どうぞお気軽にご相談下さい。

AH-250D プラズマ蒸着用アプリケーター (Patents Pending)

 

A-PD プリカーサー供給システム

Atomflo™ 300 シリーズ

「Atomflo™ 300 シリーズ」には線形ビーム・プラズマアプリケーターが付属しています。（下図を参照下さい）このシリーズは特に生産ライン、例えば、半導体部品のパッケージングやアセンブリーラインなどに組込まれる事を念頭に考案されています。写真は、ポリマーのテストピースの表面処理の例です。プラズマによって接着工程の前に表面を洗浄したり活性を高めたりします。「Atomflo™ 300」には１インチ(25mm)と２インチ(50mm)のアプリケーターのいづれかを選択出来ます。

線形(リニア)型アプリケーター (Patents Pending)

Atomflo™ 300のコントローラーと１インチ及び2インチのアプリケーター

Atomflo™ 1500 シリーズ

「Atomflo™ 1500 シリーズ」は弊社の旗艦製品です。写真の様に現在の所最大の６インチ(150mm)のアプリケーター 「AH-1500L」が利用可能です。コントローラーには1KW RF電源、革新的な自動マッチングネットワーク、3種類のガスラインとマスフローコントローラー及びプログラミング可能な、プロセスタイマー付きのメニュードリブンなユーザーインターフェースが装備されています。

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